Offline-Fluorierung
Anlagen für dreidimensionale Substrate
Offline-Anlagen fluorieren dreidimensionale Formteile im Chargen-Betrieb: Die Vakuumkammer wird mit den Formteilen beschickt, der Fluorierungsprozess läuft ab und die Formteile werden wieder entnommen. Kernstück der Offline-Fluorierungsanlagen von FTS ist die Vakuum-Kammer. Sie ist auf die zu behandelnden Bauteile und ihre Menge, die Ladungsträger und den Ablauf von Be- und Entladung optimiert. Dazu gehören Vakuumpumpen und -armaturen, die Fluor-Ver- und Entsorgung sowie Steuerungs- und Sicherheitseinrichtungen.
Kubische oder zylindrische Vakuumkammer
In der kubischen Kammer werden größere oder mechanisch empfindliche Teile in Ladungsträgern gehalten oder lose eingelegt. In die zylindrische Kammer werden Kleinteile als Schüttgut eingebracht und während der Behandlung schonend bewegt, um einen gleichmäßigen Kontakt mit dem Fluor zu gewährleisten.
Der Behandlungsablauf
Zur Fluorierung werden die Produkte in der Vakuumkammer einem Fluor/Stickstoff-Gemisch ausgesetzt. Die Behandlungsdauer, das Profil der Fluorkonzentration und die Prozesstemperatur werden auf Produkt und Behandlungsziele abgestimmt. Die Parameter sind in der Kammer jederzeit homogen. Alle Parameter werden in Vorversuchen erprobt und sind in der SPS-Steuerung als Rezept hinterlegt. Sie sind zuverlässig reproduzierbar.
